Tokai Carbon Korea Co., Ltd., основанная в 1996 году и базирующаяся в Ансонг-си, Южная Корея, занимается производством и продажей компонентов для полупроводниковой, светодиодной (LED) и солнечной промышленности. Компания выпускает высокочистые графитовые компоненты, которые применяются в нагревателях, тиглях, защитных экранах Gr, кольцах, отражателях, держателях подложек и других элементах. читать дальше
В числе продуктов - подложки для MOCVD реакторов LED и Epi реакторов на кремнии, включая держатели LED-пластин и подложки для ALD и Epi-процессов. Кроме того, компания поставляет компоненты с покрытием CVD SiC, используемые в кольцах SiC, пластинах и душевых головках, что позволяет продлить срок службы и повысить эффективность частей камер плазменного травления.
