Lam Research Corporation занимается проектированием, производством, продажей, восстановлением и обслуживанием оборудования для обработки полупроводников, используемого при изготовлении интегральных схем. В портфеле компании представлены системы ALTUS для нанесения конформных покрытий в приложениях с вольфрамовой металлизацией; продукты SABRE для электрохимического осаждения меди, поддерживающие процесс медного дамаскина; а также продукты VECTOR для плазменно-усиленного химического осаждения (PECVD). читать дальше
Lam Research также предлагает продукты SPEED для высокоплотного плазменного химического осаждения заполнителей (gapfill); системы Striker для атомарного осаждения отдельных пластин (ALD) для диэлектрических пленок. Для травления диэлектриков Lam Research предлагает Flex; система Vantex с радиочастотной технологией обеспечивает повторяемое качество травления пластин благодаря решениям Equipment Intelligence; Kiyo применяется для травления проводников; Syndion — для сквозного травления через кремний (TSV); Versys — для металлизации и процессов травления металлов.
Компания также выпускает продукты Coronus для улучшения выхода рабочих кристаллов, а также серии Da Vinci, DV-Prime, EOS и SP для различных задач по очистке пластин. Продукция Lam Research продается в США, Китае, Европе, Японии, Корее, странах Юго-Восточной Азии и на Тайване. Компания была основана в 1980 году, штаб-квартира находится в Фримонте, Калифорния.
